T/FJAS 006-2024 湿电子化学品 再生光阻剥离液

范围

本文件规定了再生光阻剥离液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于以湿电子化学品行业含光阻剥离液回收液为原料，经过提纯的光阻剥离液再生产品(以下简称产品)，主要用于显示面板制造行业等。

术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

湿电子化学品  wet chemicals

湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节)中使用的各种液体化工材料。

光阻剥离液

一种有机混合物，主要用于面板制造行业的光阻剥离，主要成分为乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)。

回收液  Iiquid recycIing

主要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、废光刻胶、水分、金属杂质等。

技术要求

产品的质量技术指标应符合表1的要求。

试验方法

水分的测定

按 GB/T 6283 的规定进行测定。

GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用方法)

艾瑞斯ARS-WL500卡尔费休库仑法微量水分测定仪